nXDS 泵在傳統 XDS 泵的基礎上進行改進，提高了抽速，降低了極限壓力、功耗和噪音。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能，nXDS 泵可進行現場維修。
愛德華 nXDS6i 干式渦旋真空泵 渦卷真空泵 Edwards真空泵
概述
nXDS6i 是下一代無油的干式渦旋泵，并取代 XDS5。與傳統 XDS 泵相比，nXDS 性能更強，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能，nXDS 泵可進行現場維修。
用途
· 一般清潔泵送應用
· 電子掃描顯微鏡 - SEM
· 射束線和高能物理
· 前級渦輪泵
· 速離心機
· 覆層
· 低溫學
· 脫氣/硫化 - 油，環氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實驗室工作臺上真空
· 激光、氣體回收和再循環
· 氦檢漏儀
· 負載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
·
· 旋轉離心蒸發器
· SEM/FIB（離子束維修）
· 溶劑回收
· 表面科學儀器
特點優勢
· 真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
· 無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
· 簡單的單側滾軸布置與新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的工具，就能實現輕松的現場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
· 改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
· 的接口提供了傳統、模擬和數字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現遠程控制/監視
數據
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標稱旋轉速度
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1800 rpm
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排量
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6.8 m3h-1 / 4.0 ft3min-1
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峰值抽速
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6.2 m3h-1 / 3.6 ft3min-1
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極限真空（總壓力）
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0.020 mbar / 0.015 Torr
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待機旋轉速度
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1200 rpm
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速度控制精度（以全速百分比表示）
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1%
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轉速時的抽速
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4.1
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大連續進氣口壓力
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200 mbar
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電機功率（一相）
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260 W
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電源連接器（1 相）
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IEC EN60320 C13
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保險絲
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10A，250Vac rms
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重量
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26.2 kg / 58 lb
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入口法蘭
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NW25
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排氣口法蘭
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NW25
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噪音級別
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52 dB(A)
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入口法蘭處抗振性
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< 4.5 mms-1 (rms)
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密封性（靜態）
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< 1x10-6 mbar ls-1
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工作溫度范圍
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10 至 40 °C / 41 至 104 °F
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